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薄膜測厚儀用于測量較軟或較硬材料薄膜厚度，根據測量材料可選擇不同測力范圍滿足不同測量任務需求。

低測力可達0.06N，高分辨率0.01μm。

分辨率：1μm

測力：0.4-1.6N（根據需要選擇）

分辨率：0.1μm

測力：0.3-1.3N（根據需要選擇）

分辨率：0.01μm

測力：0.06-0.8N（根據需要選擇）

分辨率：1μm

測力：0.4-1.6N（根據需要選擇）

分辨率：0.1μm

測力：0.3-1.3N（根據需要選擇）

分辨率：0.01μm

測力：0.06-0.8N（根據需要選擇）